Høyrent kobber samleskinne sputteringsmål (4N-6N)
Video
Høyrent kobberskinnesputteringsmål – Prosess- og kvalitetssikringserklæring
Våre kobbersamleskinnemål er spesielt utviklet for fysisk dampavsetning over store områder og store volum, der jevnt belegg over lengre lengder er avgjørende.
Viktige prosessfunksjoner
Produksjonen benytter avanserte metallurgiske og maskineringsteknikker for å levere jevn ytelse:
● Utgangsmateriale: Premium elektrolytiske kobberkatoder med verifisert ultrahøy renhet fungerer som base.
● Vakuumraffinering: Flere vakuumsmeltetrinn fjerner gassformige og metalliske urenheter for å oppnå 4N–6N-nivåer.
● Kontinuerlig støping: Kontrollert vartekstrodering eller kontinuerlig støping produserer lange, tette barrer med homogen struktur.
● Varmbearbeiding: Smiing og valsing forfiner kornstørrelsen og oppnår nesten full teoretisk tetthet.
● Presisjonsskjæring og -maskinering: CNC-saging og -fresing skaper nøyaktige rektangulære dimensjoner med parallelle flater.
● Overflatebehandling: Flertrinns sliping og polering gir rene, defektfrie sputteroverflater.
●Bindingsalternativer: Indium- eller elastomerbinding ved lav temperatur til rustfritt stål eller molybden-bakplater er tilgjengelig.
● Renromsemballasje: Sluttrengjøring med ultralyd og vakuumforsegling i dobbel pose sikrer kontamineringsfri levering.
Kvalitetskontrollsystem
● Fullstendig sporbarhet fra katodekilde til ferdig samleskinnemål
● Fullstendig materialsertifisering og testrapporter følger med hver enhet
● Arkivprøver oppbevares i ≥3 år for uavhengig verifisering (SGS, BV osv.)
● 100 % inspeksjon av viktige parametere:
• Renhetsverifisering (GDMS/ICP-analyse; oksygen vanligvis <5 ppm)
• Tetthetstesting (≥99,5 % teoretisk)
• Evaluering av kornstruktur (metallografi)
• Dimensjonsnøyaktighet (CMM; parallellitet ≤0,1 mm typisk)
• Overflatekvalitet og ruhet (profilometer + renromsinspeksjon)
● Interne spesifikasjoner overgår ASTM F68-standardene. Typiske egenskaper: Varmeledningsevne >395 W/m·K, Konsekvent lysbuefri sputtering, Høye avsetningsrater i magnetronsystemer.











