Høyrent kobbersputteringsmål – firkantede (4N–6N)

Kort beskrivelse:

Produktspesifikasjoner
Navn: Høy renhets kobbersputteringsmål
Standard: ASTM F68 (oksygenfritt elektronisk kobber), ASTM B115, renhet ≥99,99 % (4N–6N), RoHS-kompatibel, REACH-kompatibel
Materiale: C10100 (OFHC-kobber), C10200 (oksygenfritt kobber), høyrenhets kobber (4N/5N/6N)
Overflate: Presisjonsslipt/polert, Ra ≤0,4 μm, valgfri indium/tinnbinding til bakplate
Størrelsesområde: 100 mm × 100 mm til 600 mm × 600 mm (tilpassede firkantede dimensjoner) Tykkelse: 3 mm – 50 mm
Renhetsnivå: 99,99 % – 99,9999 %
Produktegenskaper: Eksepsjonell renhet med lavt oksygen- og urenhetsinnhold · Overlegen termisk og elektrisk ledningsevne · Jevn kornstruktur for jevn sputtering · Høy tetthet (>99,5 % teoretisk) · Utmerket filmheft og avsetningsjevnhet · Lav partikkelgenerering · Lang mållevetid og høy utnyttelsesgrad
Bruksfelt: Halvlederforbindelseslag, tynnfilmsolceller (CIGS/CdTe), flatskjermer (TFT-LCD), optiske belegg og speil, dekorative PVD-belegg, magnetisk datalagring, luftfarts- og bilkomponenter, forsknings- og utviklingslaboratorier

Send e-post til oss

Produktdetaljer

Produktetiketter

Høyrent kobbersputteringsmål – Prosess- og kvalitetssikringserklæring

Våre firkantede kobbersputteringsmål er produsert i henhold til de strenge standardene som kreves for pålitelig tynnfilmavsetning i avanserte beleggprosesser.
Produksjonen følger en strengt kontrollert vakuumbasert arbeidsflyt for å opprettholde ultrahøy renhet og materialkonsistens:
● Valg av råmateriale: Kun sertifiserte elektrolytiske kobberkatoder (≥99,99 %) brukes som utgangsmateriale.
● Vakuumsmelting: Induksjonssmelting under høyvakuum eller inert atmosfære minimerer oksygenopptak og flyktige urenheter.
● Støping og raffinering: Kontrollert retningsbestemt størkning produserer barrer med homogen sammensetning og minimal segregering.
● Varmbearbeiding: Smiing eller varmpressing oppnår nær teoretisk tetthet og raffinert kornstruktur.
● Presisjonsmaskinering: CNC-fresing og sliping produserer nøyaktige firkantede dimensjoner med flate, parallelle overflater.
● Overflatebehandling: Flertrinnspolering gir en speilblank finish som er egnet for bruk i renrom.
● Valgfri binding: Indium- eller elastomerbinding til molybden-/kobber-bakplater tilgjengelig for termisk styring.
● Sluttrengjøring og emballasje: Ultralydrengjøring i ultrarent vann, etterfulgt av vakuumforsegling i rene poser med to lag.

Kvalitetskontrollsystem

● Full sporbarhet fra rå katodeparti til ferdig mål
● Materialsertifikater og testrapporter leveres med hver forsendelse
● Oppbevaring av arkivprøver i ≥3 år for tredjepartsverifisering (SGS, BV osv.)
● 100 % inspeksjon av kritiske parametere:
• Renhet og urenheter (GDMS/ICP-MS-analyse; typisk oksygen <10 ppm)
• Tetthetsmåling (Arkimedes-metoden; ≥99,5 %)
• Kornstørrelse og mikrostruktur (metallografisk undersøkelse)
• Dimensjonsnøyaktighet (CMM; flathet ≤0,05 mm typisk)
• Overflateruhet og defekter (profilometer + visuell inspeksjon)
● Interne spesifikasjoner overgår ASTM F68-kravene. Typiske egenskaper: Varmeledningsevne >390 W/m·K, Elektrisk resistivitet <1,7 μΩ·cm, Konsekvent sputterhastighet og filmkvalitet.
● Renromskompatible prosesser og ISO 9001:2015-sertifisert anlegg sikrer at alle mål oppfyller de krevende behovene til moderne PVD-applikasjoner.